DENVER, COLORADO – Media OutReach – Advanced Energy, pemimpin global berbagai konversi daya presisi tinggi yang canggih, sistem pengukuran dan kontrol, serta solusi lainnya, mengumumkan peluncuran model pengukur daya frekuensi radio GEMINI™ 5540A.

GEMINI™ 5540A memiliki seperangkat sirkuit pengukuran yang sangat fleksibel, mudah digunakan, dan sangat terintegrasi, yang dapat mendukung fungsi pengukuran daya RF online yang sangat akurat, dan cocok untuk solusi yang harus dilengkapi dengan RF presisi tinggi seperti di pasar semikonduktor, komunikasi, industri, dan medis.

Advanced Energy selalu menjadi pemimpin pasar dalam solusi daya RF untuk produk semikonduktor. Di masa depan, perusahaan akan terus bekerja keras untuk mengembangkan teknologi baru guna meningkatkan fungsi kontrol daya catu daya plasma dan meningkatkan kinerja etsa dan deposisi canggih proses.

GEMINI™ 5540A adalah alat yang menggabungkan sensor dan alat ukur yang tidak hanya mudah digunakan, tetapi juga dapat melakukan fungsi pengukuran dalam rentang frekuensi antara 0,2 dan 200 MHz dan rentang daya antara 3 dan 5.000 W, dengan akurasi sigma adalah ±0,5% + 0,5 W. Ini adalah alat ukur yang sangat terintegrasi, pengguna hanya perlu menggunakan satu alat ukur untuk mengganti berbagai alat ukur yang berbeda. Alat ini paling cocok untuk peralatan yang perlu mengukur dan mengontrol daya RF secara akurat.

“Proses semikonduktor dengan persyaratan teknis yang sangat ketat, seperti etsa plasma rasio aspek tinggi (HAR), kontrol presisi tinggi, dan pencocokan ruang frekuensi radio berdampak langsung pada kinerja proses. Dengan GEMINI 5540A baru, OEM dapat secara akurat mengkalibrasi sistem dan memantau daya RF secara real time, meningkatkan ketepatan dan konsistensi proses berbasis plasma terdepan,” jelas Gerry Blumenstock, Wakil Presiden Produk Penginderaan dan Kontrol Utama di Advanced Energy, dalam rilis, Rabu (15/12/2021).

GEMINI™ 5540A dilengkapi dengan layar digital OLED besar dan mudah dibaca yang dapat secara bersamaan menampilkan daya maju dan mundur, rasio gelombang berdiri tegangan (VSWR) dan frekuensi, dan tidak perlu mengukur ulang maju dan daya balik. Selain itu juga dapat dikonfigurasi untuk mendeteksi frekuensi secara otomatis.

Meteran ini dapat mengurangi jumlah kalibrasi menjadi setiap 12 bulan sekali. Sebaliknya, alat ukur tradisional perlu dikalibrasi setiap 6 bulan sekali. Pengukur daya frekuensi radio ini beroperasi dengan input 5 V, 500 mA yang dipasok melalui port USB 2.0 standar menggunakan baterai eksternal atau stopkontak AC dan adaptor USB yang tersedia.

Selain dapat langsung digunakan untuk pengukuran, alat ukur ini juga dapat dihubungkan ke komputer sehingga dapat digunakan dengan software visualisasi data GEMINI Tools Advanced Energy untuk melakukan fungsi pengumpulan, penyimpanan, dan peninjauan data.

Untuk informasi detail produk dan spesifikasi teknis, kunjungi www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter