DENVER, COLORADO – Media OutReach – Advanced Energy, perusahaan terdepan dalam pengembangan berbagai sistem konversi, pengukuran dan kontrol daya presisi tinggi yang canggih serta solusi lainnya, meluncurkan produk power generator andalannya dari jajaran Paramount® RF (radio frequency), yaitu Paramount HP 10013 power generator.

Paramount HP 10013 dirancang untuk semikonduktor dan aplikasi film tipis industri, Parametar HP 10013 didasarkan pada sistem pengiriman daya terkemuka di industri AE untuk aplikasi plasma termasuk etsa konduktor, etsa dielektrik, presipitasi, sputtering dan implantasi ion. Paramount HP 10013 dapat memastikan bahwa platform Paramount 13,56MHz menyediakan daya keluaran hingga 10kW, keuntungannya adalah dapat memberikan pulsa berenergi tinggi dengan daya rata-rata yang lebih rendah untuk memastikan keakuratan daya pulsa dan pengulangan.

Daya yang lebih tinggi dapat meningkatkan kepadatan plasma dan energi ion untuk mendukung langkah-langkah proses etsa plasma yang lebih cepat dan lebih dalam serta mempersingkat waktu proses deposisi untuk memenuhi persyaratan proses etsa rasio aspek tinggi yang canggih dan aplikasi generasi baru.

“Dengan sirkuit terintegrasi yang kini menjadi bagian dari hampir setiap produk di konsumen, hiburan, manufaktur, komputasi, transportasi, dan banyak pasar lainnya, industri kami dihadapkan pada aplikasi yang jauh lebih luas, serta tantangan, untuk daya proses yang presisi. Rangkaian produk Paramount dari Advanced Energy adalah yang pertama mengadopsi teknologi frekuensi radio berdenyut. Seri pertama dari sistem catu daya RF digital penuh yang dapat diproduksi secara massal. Kali ini Advanced Energy meluncurkan produk daya yang lebih tinggi, memungkinkan pelanggan kami menggunakan teknologi inovatif untuk mengembangkan arsitektur sistem tiga dimensi yang lebih kompleks dan material baru,” kata Peter Gillespie, Wakil Presiden Senior Produk Semikonduktor dan Komputasi di Advanced Energy, dalam keterangannya kepada media ini, Rabu (20/1/2021).

Arsitektur digital dari platform Paramount mendukung manajemen daya yang presisi, dan fungsi baru dapat diintegrasikan lebih cepat tanpa mengganti perangkat keras. Fungsi kontrol digital penuh dapat melacak perubahan plasma untuk membuat deteksi dinamis dan real-time, dan dapat memberikan output daya tinggi dan memastikan pengulangan kinerja. Antarmuka digital internal dapat memastikan bahwa platform disinkronkan dengan power generator RF lainnya, dan juga dapat dengan mulus terhubung ke jaringan pencocokan digital Navigator dan Navigator II yang terkemuka di Advanced Energy.

Untuk spesifikasi teknis terperinci dari lini produk Paramount, kunjungi halaman ini